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• 產(chǎn)品名稱：真空泵
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真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)，目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等，只需要在現(xiàn)場進(jìn)行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)，該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成，以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動化控制。

真空系統(tǒng)自啟動后，全部運(yùn)行過程可以實(shí)現(xiàn)全自動控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動，其波動范圍可根據(jù)用戶要求進(jìn)行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達(dá)到最佳流程工藝。

第一臺真空泵啟動后達(dá)不到設(shè)定所需真空時第二臺真空泵啟動至達(dá)到設(shè)定的真空值。當(dāng)達(dá)到所需設(shè)定值后第一臺真空泵停止接著第二臺真空泵停止循環(huán)工作。我司的真空系統(tǒng)可在無人操作情況下對系統(tǒng)進(jìn)行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護(hù)真空泵馬達(dá)過載及短路。

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